電子直線加速器是指用微波電磁場加速電子的直線型加速器。根據微波的類型可分為行波和駐波型電子直線加速器，其電子能量一般都較高（大于5MeV），輸出功率在幾kW到幾十Kw，在輻射加工安全許可范圍內，高能（大于5MeV）電子對被照射物具有最深的有效穿透，因而得到廣泛利用。
電子直線加速器基本結構：電子直線加速器可根據輻照工藝的要求作成立式或臥式。
加速器電子槍工作在脈沖狀態，根據需要設計注入加速管的電子束能量、脈沖流強、束流直徑和發散角等。一般采用皮爾斯型電子槍，并采用在較低溫度下電子發射電流密度較大的六硼化鑭作陰極材料。加速管由聚束段和加速段兩部分組成。加速管采用恒溫水冷卻措施，使溫度變化不大于1度，以確保電子束運行參數穩定。聚焦線圈根據理論計算中的束包絡聚焦要求設置。微波功率源，可以采用磁控管或速調管，根據需要，對電子進行加速，提供能量。磁控管或速調管所需的脈沖高壓由脈沖調制器供給。脈沖調制器一般采用軟管線性脈沖調制器，由直流高壓電源向充電變壓器、脈沖形成線的電容器進行諧振充電。高功率脈沖閘流管為放電開關，脈沖形成線經閘流管、脈沖變壓器初級繞組組成放電回路，在脈沖變壓器初級形成高壓，在變壓器次級輸出脈沖電高壓。在電壓穩定度要求較高時，調制器需采用脈沖電壓穩定裝置。磁控管或速調管輸出的微波功率經波導、定向耦合器、環流器等組成的微波傳輸系統，通過陶瓷窗進入加速管，對于系統中的剩余功率，由另配的吸收負載所吸收。
性能與特點：電子直線加速器的最高電子能量已超過幾萬MeV，但由于工業輻射安全的限制，工業輻照電子直線加速器的最高能量定為10MeV。此外，直線加速器的注入和引出效率都很高；束流強度取決于注入器的入射強度和高頻電源的荷載能力。一般受高頻源的制約只能脈沖工作，脈沖電流可達幾百mA，平均流強為1mA至十幾mA，即束流功率為1kW到十幾kW。
