電子束輻照相對于金屬滲透工藝的優勢：

　　簡化生產設備；

　　適用各種尺寸的晶園輻照和芯片輻照；

　　精確和可重復性生產；

　　退火可穩定的完全恢復；

　　室溫操作；

　　無重金屬污染；

　　根據生產工藝，能在不同工序中完成。

電子束輻照處理的電源管理器件：

　　快復二極管                               Fast recovery Diodes (Diodes);

　　晶閘管                                      Thyristors/Gate Turn-Off Thyristors(GTO);

　　電力整流器                               Power Rectifier;

　　雙極結晶體管                           Bipolar Junction Transistors(BJT);

　　可控硅，硅可控整流器            Silicon Controlled Rectifiers(SCR) ;

　　IGBT                                         Insulated Gate Bipolar Transistors(IGBT) ;

　　MOSFET                                  Power MOSFET(their body diodes).